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☆ 2500平方米生產(chǎn)服務(wù)面積

☆  每月10000件部件的清洗能力

☆  具備服務(wù)于8”和12“產(chǎn)線的洗凈、熔射、噴砂、維修翻新、貴金屬回收等需求的完整工藝能力

☆  擁有2條銅清洗線與2條非銅清洗線，包含的處理程序有：

     1.  化學(xué)剝離、物理剝離

     2. 鋁熔射/陶瓷熔射 表面處理、表面噴砂、無塵室

     3. 最終清洗和真空包裝

     4. 專用運(yùn)輸箱設(shè)計(jì)和制作

     5.  部件使用相關(guān)文檔的存檔管控

半導(dǎo)體洗凈運(yùn)營團(tuán)隊(duì)組成

① 來料檢查

對部件編制工藝流程表單，檢測部件外觀，存在缺陷進(jìn)行上報(bào) 。

②  Mask保護(hù)

化學(xué)除膜前，對不需要進(jìn)行化學(xué)處理區(qū)域進(jìn)行保護(hù)，避免不必要的腐蝕。

③ 化學(xué)除膜

根據(jù)不同的裝置、膜質(zhì)、材質(zhì)用不同配比的化學(xué)藥水進(jìn)行去除膜層。對化學(xué)藥劑的使用及更換進(jìn)行管控。

④ Mask保護(hù)

使用治具或者保護(hù)膠帶對不需要噴砂處理的區(qū)域進(jìn)行mask保護(hù)。

⑤ 噴砂

根據(jù)作業(yè)單要求，調(diào)整砂粒度及噴射壓力，以保證達(dá)到工藝設(shè)定粗糙度SPEC。

⑥ ARC 熔射

ARC電弧熔射，滿足半導(dǎo)體 PVD制程parts粗糙度使用要求，延長客戶PM life Time。

⑦ Plasma 熔射

Plasma等離子熔射，形成Y2O3/Al2O3 coating層，減緩部件在各種Plasma Gas環(huán)境下引起的部件腐蝕，延長客戶PM life Time。

⑧ 高溫烘烤

利用高溫對parts表面污染物進(jìn)行氣化，部件表面沒有化學(xué)殘留的風(fēng)險(xiǎn)。

⑨ CO2 微顆粒噴射清洗

利用微顆粒的干冰撞擊部件表面，已達(dá)到去除表面污染物的目的，為一種綠色，無損的物理清洗方法。

⑩ 矯正

對噴砂,熔射部品表面進(jìn)行修整。

 ? 檢查

對修整后部件的平面度，真圓度，孔徑，粗糙度等進(jìn)行檢測，以達(dá)到工單SPEC。

? AOI檢測

對高精密的parts 進(jìn)行孔徑，位移的檢測。

? 高壓水洗

對噴砂,熔射部品表面進(jìn)行清洗，去除表面大顆粒。

? 超聲波清洗

無塵室內(nèi)進(jìn)行超聲波進(jìn)行震蕩精洗，去除表面particle顆粒。

? 汽水槍沖洗/吹干

表面particle顆粒，殘留水分。

? 干燥

Class 100無塵烘箱對部件進(jìn)行干燥，保證部件水分完全去除。

? 最終檢查

外觀檢測，Particle檢測、治具檢測、尺寸檢測，暗室檢測，確保部品出貨參數(shù)在標(biāo)準(zhǔn)控制范圍。

? 真空包裝

對檢查完畢后的部品按客戶要求進(jìn)行真空包裝。

? 交付客戶

系統(tǒng)生成產(chǎn)品出貨報(bào)告、出貨清單,裝箱完成后交付客戶。