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解決方案
氧化行業(yè)解決方案
DE壁板氧化再生工藝流程
DE壁板氧化再生工藝
服務(wù)履歷
Open mask行業(yè)解決方案
Open Mask操作流程
QC 流程圖
Open Mask清洗工藝流程
Open Mask清洗規(guī)格說(shuō)明
清洗規(guī)格
半導(dǎo)體行業(yè)解決方案
光伏清洗再生工藝流程-載板
半導(dǎo)體部件清洗再生工藝流程
陶瓷熔射行業(yè)解決方案
DE陶瓷部件清洗再生工藝流程
DE陶瓷部件清洗工藝
服務(wù)履歷
部件表面處理工藝流程
陶瓷熔射簡(jiǎn)介
陶瓷熔射業(yè)務(wù)
產(chǎn)品展示(光電)
產(chǎn)品展示(半導(dǎo)體)
產(chǎn)品展示(半導(dǎo)體ESC)
陶瓷熔射技術(shù)模塊
陶瓷熔射衍生工藝(退鍍技術(shù))
陶瓷熔射衍生工藝(氧化新工藝)
部件表面處理工藝流程
性能測(cè)試氧化新工藝性能指標(biāo)
陶瓷熔射衍生工藝(清洗再生工藝)
部件表面處理工藝流程
洗凈再生技術(shù)能力
特別產(chǎn)品(上電級(jí)的處理)
服務(wù)履歷
洗凈行業(yè)解決方案
PVD部件清洗再生工藝流程
服務(wù)履歷
CF部件清洗再生工藝流程
IMP清洗工藝流程
服務(wù)履歷
內(nèi)襯板部件清洗再生工藝流程
服務(wù)履歷
品控能力
洗凈再生技術(shù)能力
高階制程精密洗凈優(yōu)勢(shì)
光伏清洗再生工藝流程-載板
CVD行業(yè)解決方案
CVD部件清洗再生工藝流程-Diffuser
CVD部件清洗再生工藝流程-Backing Plate
CVD部件清洗再生工藝流程1-Susceptor
CVD部件清洗再生工藝流程2-Susceptor
CVD部件清洗再生工藝流程-Shadow Frame
核心技術(shù)
服務(wù)履歷
加工行業(yè)解決方案
加工部件清洗工藝流程
加工部件清洗工藝
服務(wù)履歷
PVD部件清洗再生工藝流程

 

 

IQC

外觀缺陷檢查并反饋客戶(hù),區(qū)分裝置、膜質(zhì)、材質(zhì)、編制工藝流程表單。

 

分解

組立件清洗時(shí)對(duì)其后,個(gè)體進(jìn)行有效清洗。

 

酸洗+超高壓水刀

先浸泡硝酸,把部件上的膜層浸泡松動(dòng);然后采用物理方法,超高壓水刀沖洗部件,打掉膜層。(ITO膜與AL膜只做水刀處理)。

 

純水浸泡

超高壓水洗后在純水里把部品表面殘?jiān)萑コ?/p>

 

預(yù)干燥

純水浸泡后進(jìn)行預(yù)干燥,去除表面水汽,以利于下工序作業(yè)。

 

保護(hù)

部品不用噴砂部位用膠帶或治具進(jìn)行保護(hù)。

 

噴砂

在一定的工藝壓力下,對(duì)部品進(jìn)行噴砂,以達(dá)到沉膜所需要的粗糙度標(biāo)準(zhǔn)。

 

去保護(hù)、毛刺、檢查矯正

噴砂完成后對(duì)其保護(hù)治具和膠帶去除,去除噴砂邊緣處毛刺并對(duì)變形及尺寸不合格的進(jìn)行矯正。

 

檢測(cè)

部品放于大理石平臺(tái)用塞尺測(cè)量翹曲度,不在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)進(jìn)行矯正,確保平面度的合格,測(cè)量數(shù)據(jù)記錄在檢查表上。

按照檢查表內(nèi)規(guī)定需檢測(cè)的項(xiàng)目,用量具對(duì)部品進(jìn)行測(cè)量,其結(jié)果在檢查表上記錄。

 

高壓水洗

 

? 干燥

在一定的工藝壓力下對(duì)噴砂部品進(jìn)行粗清洗,去除表面顆粒。

 

? ARC熔射 

? 數(shù)據(jù)檢測(cè)

? 高壓水洗 

按照工藝流程單規(guī)定的工藝參數(shù)進(jìn)行ARC熔射機(jī)的參數(shù)設(shè)定并進(jìn)行熔射作業(yè),作業(yè)完成后對(duì)熔射涂層粗糙程度進(jìn)行評(píng)估測(cè)量,測(cè)量數(shù)據(jù)是否能達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求,流入下工序進(jìn)行高壓水洗,清除表面粉塵。 

 

? 無(wú)塵室干燥

按工藝要求進(jìn)行干燥。

 

? 最終檢查

進(jìn)行外觀檢查,目視有無(wú)外觀不良,并依據(jù)檢查表進(jìn)行相關(guān)尺寸數(shù)據(jù)檢查。

 

? 組立

? FQC檢驗(yàn) 

? 真空包裝

依標(biāo)準(zhǔn)圖紙進(jìn)行部品組立,組立時(shí)注意組件的方向性。組立完成后,由FQC進(jìn)行外觀及尺寸數(shù)據(jù)方面的檢查確認(rèn)。

內(nèi)白外綠真空包裝(兩層)

  

? OQC、裝箱出貨

根據(jù)工藝流程單客戶(hù)類(lèi)別、裝置、膜質(zhì)等歸類(lèi)用緩沖材氣墊膜捆包后裝箱。

OQC作成檢驗(yàn)報(bào)告、清單,裝箱完成后發(fā)貨。

服務(wù)履歷

部門(mén)

產(chǎn)品

客戶(hù)

世代

類(lèi)別

設(shè)備廠商

PVD 

MASK 

合肥京東方(B3)

G6

LCD

ULVAC

重慶京東方(B8)

G8.5

LCD

ULVAC

合肥京東方(B9)

G10.5

LCD

ULVAC

滁州惠科

G8.6

LCD

AKT

重慶惠科

G8.6

LCD

AKT

上海天馬

G4.5

LCD

ULVAC

武漢天馬

G4.5

LCD

ULVAC

武漢天馬

G6

OLED

IRUJA

成都天馬

G4.5

LCD

ULVAC

廈門(mén)天馬

G5.5

LTPS

ULVAC

廈門(mén)天馬

G6

LTPS

ULVAC

中航

G5

LCD

ULVAC

龍騰

G5

LCD

ULVAC

南京熊貓

G6

LCD

ULVAC

南京熊貓

G6

LCD

AKT

華星光T3

G6

LTPS

ULVAC

華星光T4

G6

OLED

IRUJA

國(guó)顯光電

G5.5

OLED

ULVAC

部門(mén)

產(chǎn)品

客戶(hù)

世代

類(lèi)別

設(shè)備廠商

PVD 

MASK 

合肥京東方(B3)

G6

LCD

ULVAC

重慶京東方(B8)

G8.5

LCD

ULVAC

合肥京東方(B9)

G10.5

LCD

ULVAC

滁州惠科

G8.6

LCD

AKT

重慶惠科

G8.6

LCD

AKT

上海天馬

G4.5

LCD

ULVAC

武漢天馬

G4.5

LCD

ULVAC

武漢天馬

G6

OLED

IRUJA

成都天馬

G4.5

LCD

ULVAC

廈門(mén)天馬

G5.5

LTPS

ULVAC

廈門(mén)天馬

G6

LTPS

ULVAC

中航

G5

LCD

ULVAC

龍騰

G5

LCD

ULVAC

南京熊貓

G6

LCD

ULVAC

南京熊貓

G6

LCD

AKT

華星光T3

G6

LTPS

ULVAC

華星光T4

G6

OLED

IRUJA

國(guó)顯光電

G5.5

OLED

ULVAC

CF部件清洗再生工藝流程

 

分解

對(duì)部件進(jìn)行拆解,并分類(lèi),然后再分別清洗

 

IQC檢查

外觀缺陷檢查并反饋客戶(hù),區(qū)分膜層,材質(zhì),制作工藝流程單

 

化學(xué)除膜/水刀除膜

先浸泡硝酸,把部件上的膜層浸泡松動(dòng);然后采用物理方法,超高壓水刀沖洗部件,打掉膜層。(鋁板直接水刀除膜,不進(jìn)行化學(xué)浸泡)

 

純水浸泡

超高壓水洗后在純水里把部品表面殘?jiān)萑コ?/p>

 

保護(hù)

不需要噴砂的部位用膠帶或治具進(jìn)行保護(hù)

 

噴砂

在一定的壓力下(5-8kg/cm²),對(duì)部品進(jìn)行噴砂,并且達(dá)到粗糙度標(biāo)準(zhǔn),Ra=5-14um

 

去保護(hù)、毛刺/打磨

噴砂完成后,去除保護(hù)膠帶和治具,并對(duì)光滑面進(jìn)行打磨。

 

高壓水洗

噴砂完成后,對(duì)部品進(jìn)行高壓水洗,壓力50bar,除掉殘留的砂塵及微粒

 

無(wú)塵室干燥

對(duì)部品進(jìn)行最終干燥,干燥要求:150°*2H

 

檢查

進(jìn)行外觀檢查,目視有無(wú)缺陷、不良并進(jìn)行相關(guān)數(shù)據(jù)檢查,平面度控制在1mm以下

 

? 組裝

按照要求將Clamp、peek、上下導(dǎo)軌等進(jìn)行組裝,注意組裝的方向

 

? 真空包裝

將部品進(jìn)行真空包裝,兩層真空袋,其顏色和層數(shù)我們可根據(jù)客戶(hù)要求進(jìn)行包裝

 

? 裝箱出貨

OQC完成檢查報(bào)告,清單,裝箱完成后發(fā)貨

 

IMP清洗工藝流程

 

受入分解

對(duì)部件進(jìn)行分解,并對(duì)外觀、數(shù)量及材料進(jìn)行區(qū)分并使用專(zhuān)用工藝流程進(jìn)行清洗

 

 液洗

配比新的硝酸藥液對(duì)不銹鋼防著板部件進(jìn)行浸泡0.5-1h

MO 材質(zhì)部件在稀釋的氫氟酸槽浸泡3-15S

高壓水洗,沖洗掉部件上的酸液

 

預(yù)干燥

將部件進(jìn)行預(yù)干燥,準(zhǔn)備流入噴砂工段(注意:部件表面無(wú)水分即可)

 

噴砂

對(duì)部件表面進(jìn)行噴砂處理,提高部件的表面粗糙度(注意:噴砂前需對(duì)氣壓做確認(rèn))

 

中間檢查

對(duì)鋁制部件進(jìn)行表面打磨處理

 

中間檢查

在大理石平臺(tái)上對(duì)部件進(jìn)行平面度進(jìn)行確認(rèn),如有變形需做矯正

使用專(zhuān)業(yè)儀器抽查部件表面粗糙度,并將合格的部件流入下一工段。

 

水洗

使用超聲波設(shè)備去除表面微顆粒

使用氣槍將部件表面吹干(注意:每個(gè)螺孔內(nèi)都不能有水漬殘留)

 

加熱干燥

將部件放入烤箱內(nèi)做最終干燥。(注意:烤開(kāi)啟前箱需確認(rèn)溫度及時(shí)間的設(shè)定)

 

組裝

將各組立件按照來(lái)貨時(shí)的狀態(tài)進(jìn)行組裝(注意:螺絲緊固前需對(duì)各組立件的方向進(jìn)行確認(rèn))

 

品質(zhì)檢查

對(duì)部件的外觀、平面度、組裝效果、表面粗糙度等進(jìn)行檢查確認(rèn)

 

 ? 真空包裝

對(duì)檢驗(yàn)合格的部件做真空包裝處理,確保部件不會(huì)空氣接觸

 

? 裝箱出貨

將部件放入專(zhuān)用的周轉(zhuǎn)箱內(nèi)運(yùn)輸,確保部件的運(yùn)輸安全

服務(wù)履歷

部門(mén)

產(chǎn)品

客戶(hù)

世代

類(lèi)別

IMP

電極板

和輝光電

G4.5

OLED 

華星光電(T4)

G6

OLED 

華星光電(T3)

G6

LTPS

廈門(mén)天馬

G6

LTPS

武漢天馬

G6

OLED 

內(nèi)襯板部件清洗再生工藝流程

① IQC

② 分解

外觀缺陷檢查并反饋客戶(hù),區(qū)分裝置、膜質(zhì)、材質(zhì)、編制工藝流程表單,組立件清洗時(shí)對(duì)其分解后,個(gè)體進(jìn)行有效清洗。

 

③ 藥水浸泡+高壓水沖洗

通過(guò)浸泡藥水,把部件上的膜層去除;然后采用物理方法,高壓水沖洗部件,打掉殘余膜層。

 

④ 純水浸泡

高壓水洗后在純水里把部品表面殘?jiān)莸簟?/p>

 

⑤ 預(yù)干燥

純水浸泡后進(jìn)行預(yù)干燥,去除表面水汽,以利于下工序作業(yè)。

 

⑥ 保護(hù)

部品不用噴砂部位用膠帶或治具進(jìn)行保護(hù)。

 

⑦ 噴砂

在一定的工藝壓力下,對(duì)部品進(jìn)行噴砂,以達(dá)到沉膜所需要的粗糙度標(biāo)準(zhǔn)。

 

⑧ 去保護(hù)/毛刺

噴砂完成后對(duì)其保護(hù)治具和膠帶去除,去除噴砂邊緣處毛刺并對(duì)變形及尺寸不合格的進(jìn)行矯正。

 

⑨ ARC熔射

按照工藝流程單規(guī)定的工藝參數(shù)進(jìn)行ARC熔射機(jī)的參數(shù)設(shè)定并進(jìn)行熔射作業(yè)

 

⑩ 數(shù)據(jù)檢測(cè)

按照檢查表內(nèi)規(guī)定需檢測(cè)的項(xiàng)目,用量具對(duì)部品進(jìn)行測(cè)量,其結(jié)果在檢查表上記錄;

 

? 高壓水洗

在一定的工藝壓力下,對(duì)噴砂部品進(jìn)行粗清洗,去除表面顆粒。

 

? 純水超聲波清洗

使用超聲波去除部品表面微顆粒

 

? UV燈檢查

使用UV燈檢查部品表面是否有有機(jī)殘留

 

? 無(wú)塵室干燥

按工藝要求進(jìn)行干燥,確保部件表面無(wú)水分殘留

 

? 最終檢查     

進(jìn)行外觀檢查,目視有無(wú)外觀不良,并依據(jù)檢查表進(jìn)行相關(guān)尺寸數(shù)據(jù)檢查。

 

? FQC檢驗(yàn)

對(duì)進(jìn)行外觀、平面度、粗糙度等項(xiàng)目進(jìn)行檢查確認(rèn);

 

? 真空包裝

兩層無(wú)塵真空包裝

 

? 物流出貨

根據(jù)工藝流程單客戶(hù)類(lèi)別、裝置、膜質(zhì)等歸類(lèi)用緩沖材氣墊膜捆包后裝箱。OQC作成檢驗(yàn)報(bào)告、清單,裝箱完成后發(fā)貨。

服務(wù)履歷

部門(mén)

產(chǎn)品

客戶(hù)

世代

機(jī)臺(tái)

蒸鍍

內(nèi)襯清洗

和輝光電

G4.5

TOKKI

華星光電

G6(實(shí)驗(yàn)線)

TOKKI

國(guó)顯光電

G5.5

TOKKI

武漢天馬G6

G6

ULVAC/TOKKI

綿陽(yáng)京東方B11

G6

TOKKI

open mask

武漢天馬G6

G6

ULVAC

成都京東方B7

G6

TOKKI

綿陽(yáng)京東方B11

G6

TOKKI

品控能力

① 來(lái)料檢查,錄入系統(tǒng):

根據(jù)部品主材材質(zhì)(AL母材、SUS材質(zhì))、以及膜的種類(lèi),選擇洗凈制程工藝,同事根據(jù)部品刻印號(hào),統(tǒng)計(jì)組核對(duì)部品清洗次,公司設(shè)計(jì)社內(nèi)使用list表單,能夠高效快速區(qū)分部品。

 

② 作業(yè)管控系統(tǒng):

A.除膜標(biāo)準(zhǔn):部品通過(guò)物理方式或化學(xué)方式處理,將部品表面殘膜清理干凈,藥劑使用次數(shù),頻率進(jìn)行管控。

B.遮蔽標(biāo)準(zhǔn):使用膠帶或治具對(duì)部品非處理面進(jìn)行保護(hù),無(wú)縫隙,對(duì)圖紙進(jìn)行管控。

C.噴砂部品標(biāo)準(zhǔn):外觀色澤均勻、無(wú)色差、無(wú)殘膜、粗糙度滿(mǎn)足要求,對(duì)粗糙度SPEC進(jìn)行管控。

D.熔射部品標(biāo)準(zhǔn):無(wú)色差、無(wú)劃傷、無(wú)印記、無(wú)黑點(diǎn)等;粗糙度滿(mǎn)足要求,對(duì)粗糙度SPEC進(jìn)行管控。

 

③ 中檢后標(biāo)準(zhǔn)控制:

A.整形標(biāo)準(zhǔn):部品通過(guò)物理方式校正部件,達(dá)到尺寸SPEC。

B.粗糙度滿(mǎn)足要求,對(duì)粗糙度SPEC進(jìn)行管控。

 

④凈空房作業(yè)后標(biāo)準(zhǔn)控制:

檢測(cè)部件表面Particle(ea/cm2)數(shù)量符合產(chǎn)品出貨檢測(cè)SPEC。

 

⑤ 包裝出貨檢查標(biāo)準(zhǔn)控制

對(duì)部品數(shù)量、貼紙及真空包裝情況進(jìn)行檢查確認(rèn),發(fā)貨前對(duì)部品進(jìn)行整體最終確認(rèn)。

 

⑥ 數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)

記錄清洗部件數(shù)據(jù),更新部件清洗履歷,建立部件清洗大數(shù)據(jù),為客戶(hù)提供更合理、可靠的SPEC參考。

洗凈再生技術(shù)能力

A .獨(dú)特的清洗劑配方,最大限度控制部件腐蝕問(wèn)題,提高客戶(hù)使用次數(shù)。

該多孔鋁合金零件經(jīng)過(guò)5次清洗,微孔幾乎沒(méi)有腐蝕變大,且每次清洗微腐蝕數(shù)據(jù)穩(wěn)定,說(shuō)明該技術(shù)能穩(wěn)定可控的對(duì)部件進(jìn)行清洗再生。

 

B . 嚴(yán)控的洗凈及凈空房環(huán)境能力,保證部件表面particle水平達(dá)到客戶(hù)上機(jī)要求。

精密洗凈后的試片,經(jīng)過(guò)超聲波,無(wú)塵室干燥后測(cè)試particle水平

完全滿(mǎn)足目前所有精密洗凈零件對(duì)particle水平的要求

 

C . 洗凈后的部件表面,嚴(yán)格控制金屬離子殘留水平,防止部件受到金屬離子污染。

1E10Atoms/cm2 Li Na Mg Al K Ca Ti V Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn Ge Y Zr Mo W Pb
SPEC 60.00 200.00 50.00 600.00 200.00 95.00 60.00 30.00 50.00 30.00 70.00 30.00 50.00 50.00 50.00 30.00 30.00 30.00 30.00 30.00 30.00
測(cè)試片 0.01 2.52 0.50 30.93 0.69 2.93 6.44 0.01 0.08 0.04 8.75 0.05 0.09 0.80 3.79 * * * 0.08 0.02 *

精密洗凈后的試片,干燥后測(cè)試表面 金屬離子殘留水平

完全滿(mǎn)足目前所有精密洗凈零件對(duì)金屬離子殘留水平的要求

 

高階制程精密洗凈優(yōu)勢(shì)

品質(zhì)管控:

無(wú)塵室的凈空度、溫濕度實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)控;

純水實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)控;

實(shí)施關(guān)鍵parts SPC 控制;

全面引入治具,實(shí)現(xiàn)遮蔽、量測(cè)的治具化,降低人為影響;

引入更多自動(dòng)化作業(yè)設(shè)備。

光伏清洗再生工藝流程-載板

1.IQC檢查

檢查載板外觀不良及零部件缺少,做出受入不良聯(lián)絡(luò)書(shū)

記錄載板各部件刻號(hào)在圖紙對(duì)應(yīng)位置,以便無(wú)塵室進(jìn)行組裝

 

2.分解

按分解作業(yè)指導(dǎo)書(shū)要求對(duì)載板進(jìn)行分解后打印list工程表完成受入工作

 

3.化學(xué)除膜

藥水:HNO3:H2O=1:1,條件:45±5℃×(3~4H),去除部件表面膜層;藥水浸泡時(shí)注意每件產(chǎn)品需要隔開(kāi),防止疊加位置藥水浸泡不到導(dǎo)致膜層殘留。

 

4.純水浸泡

純水溢流浸泡10min,去除表面藥水殘留。

 

5.高壓水洗

高壓水槍沖洗表面殘留膜質(zhì),水槍切記調(diào)至合適壓力防止產(chǎn)品沖洗變形(定位孔務(wù)必沖洗干凈)

 

6.干燥

干燥:氣槍吹掃pocket表面水份后90°*30min進(jìn)行干燥

 

7.保護(hù)

橫梁豎梁螺孔位置上螺絲保護(hù),光滑面膠帶保護(hù),組立搭接位置均需保護(hù);pocket使用治具進(jìn)行保護(hù)pocket光滑面及圓形定位孔嚴(yán)格保護(hù)。(定位孔及銷(xiāo)釘孔需用螺絲加墊片保護(hù))

 

8.噴砂

保護(hù)好的產(chǎn)品放置在噴砂臺(tái)進(jìn)行噴砂作業(yè);pocket噴砂注意條件:WA80#×(3~4 kg/cm2)Ra=Ra2.0 - Ra3.2μm

 

9.去保護(hù)/毛刺

去除噴砂的保護(hù),對(duì)光滑面進(jìn)行打磨(要求無(wú)殘膜,砂子),并去除刀口位置毛刺

 

10.整形

矯正:將部品放置大理石平臺(tái)進(jìn)行矯正:左右豎梁平面度<1mm,橫梁平面度<0.5mm,pocket平面度<0.15mm

 

11.高壓水洗/超聲波清洗

正反面均需沖洗,高壓水槍壓力50par(沖洗時(shí)pocket需水平放置)。超聲波清洗1200W × 10min。

 

12.預(yù)干燥

對(duì)清洗完畢的部件進(jìn)行預(yù)干燥90°× 30min

 

13.最終干燥

無(wú)塵室內(nèi)對(duì)部件進(jìn)行最終干燥150°× 2h,干燥結(jié)束后自然冷卻至室溫對(duì)部件進(jìn)行組裝前平面度確認(rèn),確保外觀及平面度合格。

 

14.組裝

按照受入記錄的圖紙,找到刻號(hào)為一組的部件,將每個(gè)部件對(duì)應(yīng)圖紙裝上(組裝順序:先把橫梁豎梁組立好(對(duì)角線<2cm),再把pocket位置調(diào)好,裝上銷(xiāo)釘,pocket需墊上等高墊塊,裝上所有螺絲調(diào)整好pocket四周間隙后鎖緊側(cè)邊螺絲,最后鎖緊pocket螺絲。)

 

15.最終檢驗(yàn)

依據(jù)檢查標(biāo)準(zhǔn)對(duì)部品進(jìn)行檢查并對(duì)相關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行量測(cè);并依據(jù)量測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行出貨報(bào)告制作。

 

16.真空包裝

包裝要求:雙層包裝,一層真空,一層防靜電。

 

17.裝箱發(fā)貨

OQC完成檢查報(bào)告,清單,確認(rèn)無(wú)遺漏,裝箱完成進(jìn)行箱體無(wú)塵卷膜纏繞,打印標(biāo)簽后發(fā)貨。